Piezoaktoren: Dynamisch positionieren auf den Nanometer genau

Piezokeramische Aktoren dehnen sich beim Anlegen einer elektrischen Spannung aus und sind so als ... Weiter

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Größtmögliche Positioniergenauigkeit ist heute in vielen technischen Bereichen obligatorisch. Beispiele reichen von der Halbleiterfertigung über die Biotechnologie bis hin zur optischen Messtechnik, Mikroskopie und anderen bildgebenden Verfahren. Nanopositioniersysteme mit piezoelektrischen Antrieben sind in solchen Applikationen meist das Mittel der Wahl und häufig aufgrund ihrer kurzen Ansprechzeiten und der großen Wiederholgenauigkeit sogar ohne ernstzunehmende Alternative...

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Schlüsselwörter : Feinpositionierer Mikroskopie Nanopositioniersystem Physik Instrumente Piezoaktoren Piezoantrieb positionieren

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