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Spurenfeuchte von Gasen zuverlässig messen

13.07.2011
Prinzip der Herstellung reiner Gase. Mit Grenzwertgebern der Feuchtesensoren lässt sich der Prozess zusätzlich steuern und regeln
Prinzip der Herstellung reiner Gase. Mit Grenzwertgebern der Feuchtesensoren lässt sich der Prozess ... Weiter

Die Restfeuchte trockener Gase für technologische Prozesse und medizinische Anwendungen hat eng tolerierte Werte einzuhalten, um optimale Fertigungsergebnisse und therapeutische Wirkungen sicher zu stellen. Zur Messung der Spurenfeuchte im ppb- und ppm-Bereich dienen elektrolytische Feuchtesensoren auf Basis des stark hygroskopischen Phosphorpentoxyds nach einem absoluten Messprinzip mit linearer Wandlungskennlinie. Moderne Konzepte mit Gegenstromverfahren, patentierter Zellenbefeuchtung und Flow-Modulationstechnik zeichnen sich durch höhere Verfügbarkeit, gesteigerte Ansprechbereitschaft und kurze Ansprechzeit aus. Damit arbeiten sie in einem sehr breiten Anwendungsspektrum, von der Halbleiterherstellung über Gasabfüllstationen bis in den medizintechnischen Bereich, wartungsarm und zuverlässig.

Gase müssen trocken sein

Eigentlich ist Wasser überall. Der größte Teil der Erdoberfläche ist damit bedeckt und ohne Wasser gibt es kein Leben. Dennoch kann Wasser oder Wasserdampf, auch in geringsten Mengen und Konzentrationen, in manchen Bereichen sehr störend wirken. Ein Beispiel dafür sind technische Gase, die für anspruchsvolle Zwecke eingesetzt werden...

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